机构

• 半导体研究所 [2]

采集方式

• iSwitch采集 [1]
• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2007 [2]

学科主题

• 微电子学 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Fabrication of nanoscale metallic air-bridges by introducing a sio2 sacrificial layer 期刊论文  iSwitch采集 Materials science in semiconductor processing, 2007, 卷号: 10, 期号: 4-5, 页码: 194-199 作者:  Zhang, Yang;  Liu, Jian;  Li, Yan;  Yang, Fuhua 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2019/05/12 Nanoscale metallic air-bridge  Sacrificial layer  Electron-beam lithography   Fabrication of nanoscale metallic air-bridges by introducing a SiO2 sacrificial layer 期刊论文  OAI收割 materials science in semiconductor processing, 2007, 卷号: 10, 期号: 39908, 页码: 194-199 Zhang, Y; Liu, J; Li, Y; Yang, FH 收藏  |  浏览/下载：75/2  |  提交时间：2010/03/08 nanoscale metallic air-bridge  sacrificial layer  electron-beam lithography