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Thickness and component distributions of yttrium-titanium alloy films in multi-electron-beam physical vapor deposition 会议论文  OAI收割
Vacuum Metallurgy and Surface Engineering, Proceedings/真空冶金与表面工程——第八届真空冶金与表面工程学术会议, Shenyang, PEOPLES R CHINA, JUN 16-19, 2007
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