机构

• 沈阳自动化研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 会议论文 [1]

发表日期

• 2015 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Study on a method of dispensing calibration for photoresist pump based on support vector machine 会议论文  OAI收割 2015 IEEE International Conference on Cyber Technology in Automation, Control, and Intelligent Systems (CYBER), Shenyang, China, June 8-12, 2015 作者:  Zhang JL(张吉龙);  Hu JT(胡静涛);  Cao YX(曹云侠);  Chi HD(迟浩东) 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2015/12/24 coater and developer  photoresist pump  support vector machine  calibrate