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Fabrication of Large-Area Suspended MEMS Structures Using GaN-on-Si Platform 期刊论文  OAI收割
IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, 2009, 卷号: 30, 期号: 10, 页码: 1045-1047
作者:  Zhang BS(张宝顺);  Lin WK (林文魁);  Cai Y (蔡勇)
收藏  |  浏览/下载：228/63  |  提交时间：2010/01/15