机构

• 上海硅酸盐研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2015 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Sputtering Deposition of VO2 Film Using Plasma Emission Monitor as Reactive Gas Flow Rate Feedback Control 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS, 2015, 卷号: 30, 期号: 11, 页码: 1228-1232 作者:  Wang Xiao;  Yan Lu;  Li Ying;  Cao Yun-Zhen 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2017/03/01 vanadium dioxide  plasma emission monitor  feedback control  reactive sputtering  thin films