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• 上海光学精密机械研究... [2]

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• 期刊论文 [2]

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• 2009 [1]
• 2007 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Impact of polarized illumination on high NA imaging in ArF immersion lithography at 45 nm node 期刊论文  OAI收割 optik, 2009, 卷号: 120, 期号: 7, 页码: 325, 329 Yuan Qiongyan; 王向朝; Qiu Zicheng 收藏  |  浏览/下载：1362/237  |  提交时间：2009/09/18 Immersion lithography  Polarized illumination  Normalized image log slope  Exposure defocus window   国际主流光刻机研发的最新进展 期刊论文  OAI收割 激光与光电子学进展, 2007, 卷号: 44, 期号: 1, 页码: 57, 64 袁琼雁; 王向朝 收藏  |  浏览/下载：1082/153  |  提交时间：2009/09/18 光刻机  双工件台技术  偏振光照明  折反式物镜  浸没式光刻  下一代光刻  lithographic tools  dual -stage technology  polarized illumination  catadioptric lens  immersion lithography  next generation lithography