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• 2012 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 High Q Single Crystal Silicon Micromechanical Resonators With Hybrid Etching Process 期刊论文  OAI收割 IEEE SENSORS JOURNAL, 2012, 卷号: 12, 期号: 7, 页码: 2414-2415 Wu, GQ; Xu, DH; Xiong, B; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2013/04/23 Dry release fabrication  hybrid etching  micromechanical resonators  pre-etched cavity