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• 上海光学精密机械研究... [2]

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• 2014 [2]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Efficient source mask optimization using multipole source representation 期刊论文  OAI收割 j. micro-nanolithogr. mems moems, 2014, 卷号: 13, 期号: 4, 页码: 43001 作者:  Yang, Chaoxing;  Li, Sikun;  Wang, Xiangzhao 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2016/11/28 source mask optimization  genetic algorithm  source representation  pupil filling ratio   Efficient source mask optimization using multipole source representation 期刊论文  OAI收割 j. micro-nanolithogr. mems moems, 2014, 卷号: 13, 期号: 4, 页码: 43001 作者:  Yang, Chaoxing;  Li, Sikun;  Wang, Xiangzhao 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2016/11/28 source mask optimization  genetic algorithm  source representation  pupil filling ratio