机构

• 近代物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2010 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Effects of radio-frequency bias on silicon oxide films deposited by dual electron cyclotron resonance-radio frequency hybrid plasma 期刊论文  OAI收割 ACTA PHYSICA SINICA, 2010, 卷号: 59, 页码: 1338-1343 作者:  Ke Bo;  Wang Lei;  Ni Tian-Ling;  Ding Fang;  Chen Mu-Di   |  收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2018/05/31 electron cyclotron resonance-radio frequency dual hybrid plasma  radio-frequency bias  silicon oxide films