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机构
上海微系统与信息技术... [1]
合肥物质科学研究院 [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2020 [1]
2012 [1]
学科主题
Physics [1]
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浏览/检索结果:
共2条,第1-2条
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Diamond-Coated Plasma Probes for Hot and Hazardous Plasmas
期刊论文
OAI收割
MATERIALS, 2020, 卷号: 13
作者:
Ionita, Codrina
;
Schrittwieser, Roman
;
Xu, Guosheng
;
Yan, Ning
;
Wang, Huiqian
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2020/12/28
plasma
plasma probes
hot plasma
hazardous plasma
graphite sputtering
re-deposition
ultra-nano-crystalline diamond coating
Nano-scale gap filling and mechanism of deposit-etch-deposit process for phase-change material
期刊论文
OAI收割
CHINESE PHYSICS B, 2012, 卷号: 21, 期号: 11, 页码: 115203
Ren, WC
;
Liu, B
;
Song, ZT
;
Xiang, YH
;
Wang, ZT
;
Zhang, BC
;
Feng, SL
收藏
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2013/04/23
deposit-etch-deposit process
single step deposit
gap filling
re-deposition