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机构
沈阳自动化研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
会议论文 [1]
发表日期
2013 [1]
学科主题
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Research of Material Transfer Software Platform in IC Equipment Controlling System
会议论文
OAI收割
2013 4th IEEE International Conference on Software Engineering and Service Science (ICSESS), Beijing, China, May 23-25, 2013
作者:
Wang YN(王亚楠)
;
Liu MZ(刘明哲)
;
Liu YF(刘元峰)
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提交时间:2013/12/26
semiconductor equipment control system
material transfer
versatility
rapid development