机构

• 半导体研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 会议论文 [1]

发表日期

• 2004 [1]

学科主题

• 微电子学 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 A silicon capacitive microphone based on oxidized porous silicon sacrificial technology 会议论文  OAI收割 7th international conference on solid-state and integrated circuits technology, beijing, peoples r china, oct 18-21, 2004 Ning, J; Liu, ZL; Liu, HZ; Ge, YC 收藏  |  浏览/下载：174/37  |  提交时间：2010/03/29 silicon capacitive microphone  oxidized porous silicon  sacrificial layer