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• 上海光学精密机械研究... [3]

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• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [2]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2014 [2]

学科主题

• 光学工程 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Efficient source mask optimization using multipole source representation 期刊论文  OAI收割 j. micro-nanolithogr. mems moems, 2014, 卷号: 13, 期号: 4, 页码: 43001 作者:  Yang, Chaoxing;  Li, Sikun;  Wang, Xiangzhao 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2016/11/28 source mask optimization  genetic algorithm  source representation  pupil filling ratio   Efficient source mask optimization using multipole source representation 期刊论文  OAI收割 j. micro-nanolithogr. mems moems, 2014, 卷号: 13, 期号: 4, 页码: 43001 作者:  Yang, Chaoxing;  Li, Sikun;  Wang, Xiangzhao 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2016/11/28 source mask optimization  genetic algorithm  source representation  pupil filling ratio   基于粒子群算法的光刻机光源掩模投影物镜优化技术 学位论文  OAI收割 作者:  王磊   |  收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻  optical lithography  分辨率增强技术  resolution enhancement technique  光源掩模投影物镜优化  source mask projector optimization  粒子群算法  particle swarm optimization