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射频功率和衬底温度对碳化锗膜中sp3杂化碳原子的影响 期刊论文  OAI收割
红外与激光工程, 2012, 期号: 08, 页码: 2167-2172
作者:  
郑宣鸣;  高劲松;  王彤彤;  申振峰;  王笑夷
收藏  |  浏览/下载:24/0  |  提交时间:2013/03/11