机构

• 金属研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2008 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 Influence of N-2 gas pressure and negative bias voltage on the microstructure and properties of Cr-Si-N films by a hybrid coating system 期刊论文  OAI收割 Journal of Vacuum Science & Technology A, 2008, 卷号: 26, 期号: 5, 页码: 1188-1194 Q. M. Wang; I. W. Park; K. Kim 收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2012/04/13 cathodic arc plasma  mechanical-properties  sputtering techniques  substrate bias  nanocomposite films  ion-bombardment  thin-films  deposition  temperature  hardness