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苏州纳米技术与纳米仿... [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2015 [1]
学科主题
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共1条,第1-1条
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Normally Off AlGaN/GaN MIS-High-Electron Mobility Transistors Fabricated by Using Low Pressure Chemical Vapor Deposition Si3N4 Gate Dielectric and Standard Fluorine Ion Implantation
期刊论文
OAI收割
IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, 2015, 卷号: 36, 期号: 11, 页码: 4
作者:
Zhang, ZL(张志利)
;
Fu, K(付凯)
;
Deng, XG(邓旭光)
;
Zhang, XD(张晓东)
;
Fan, YM(范亚明)
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提交时间:2015/12/31
AlGaN/GaN high electron mobility transistor (HEMT)
standard fluorine ion implantation
normally off