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机构
高能物理研究所 [2]
苏州纳米技术与纳米仿... [1]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2015 [1]
2010 [2]
学科主题
Physics [1]
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浏览/检索结果:
共3条,第1-3条
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Micro-electro-mechanical systems capacitive ultrasonic transducer with a higher electromechanical coupling coefficient
期刊论文
OAI收割
Micro & Nano Letters, 2015, 卷号: 10, 期号: 10, 页码: 4
作者:
Miao, J(苗静)
;
Shen, WJ(沈文江)
;
He, CD
;
Xue, CY
;
Xiong, JJ
收藏
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浏览/下载:84/0
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提交时间:2015/12/31
silicon
elemental semiconductors
silicon-on-insulator
wafer bonding
electromechanical effects
ultrasonic transducers
capacitive transducers
micromechanical devices
micromachining
vibrations
membranes
finite element analysis
reliability
capacitance
electromechanical coupling coefficient
capacitive micromachined ultrasonic transducer
impedance matching
propagation medium
microelectromechanical system capacitive ultrasonic transducer
silicon on insulator
wafer bonding
optimum geometric dimensions
membrane mechanical vibration
electrical characteristics
finite-element analysis
operation mode
device safety
device reliability
equivalent stress
operation-collapse voltage
bottom electrodes
glass substrate surface
parallel parasitic capacitance
Si
SiO2
200 MW S-band traveling wave resonant ring development at IHEP
期刊论文
OAI收割
中国物理C, 2010, 期号: 3, 页码: 402-404
作者:
Zhou ZS(周祖圣)
;
Chi YL(池云龙)
;
Gu MP(顾孟平)
;
Pei GX(裴国玺)
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提交时间:2015/12/14
traveling wave resonant ring
voltage coupling coefficient
conditioning
accelerator
200 MW S-band traveling wave resonant ring development at IHEP
期刊论文
OAI收割
CHINESE PHYSICS C, 2010, 卷号: 34, 期号: 3, 页码: 402-404
作者:
Zhou ZS(周祖圣)
;
Chi YL(池云龙)
;
Gu MP(顾孟平)
;
Pei GX(裴国玺)
;
Zhou, ZS
收藏
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2016/06/28
traveling wave resonant ring
voltage coupling coefficient
conditioning
accelerator