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• 高能物理研究所 [2]

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• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2002 [1]
• 1995 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 x光纳米光刻掩模的离子束制备法 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2002, 期号: 1, 页码: 44-45 作者:  韩勇;  彭良强;  巨新;  伊福廷;  张菊芳 收藏  |  浏览/下载：40/0  |  提交时间：2015/12/25 纳米光刻  纳米线  x光掩模   LIGA技术的掩模制造 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 1995, 期号: 2, 页码: 33-37 作者:  伊福廷;  吴坚武;  晋明;  冼鼎昌;  刘金声 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2015/12/07 同步辐射光刻  X光曝光掩模  微结构  微细加工