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沈阳自动化研究所 [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
会议论文 [2]
发表日期
2011 [2]
学科主题
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浏览/检索结果:
共2条,第1-2条
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发表日期:2011
内容类型:会议论文
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Neural Network Predictive R2R Control to CMP Process
会议论文
OAI收割
2011 4th IEEE International Conference on Computer Science and Information Technology, Chengdu, China, June 10-12, 2011
作者:
Wang L(王亮)
;
Hu JT(胡静涛)
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提交时间:2012/06/06
chemical mechanical polishing
RBF neural network
predictive control
run-to-run control
PSO rolling optimization
Fuzzy predictive R2R control to CMP process
会议论文
OAI收割
2011 IEEE International Conference on Computer Science and Automation Engineering, CSAE 2011, Shanghai, China, June 10-12, 2011
作者:
Wang L(王亮)
;
Hu JT(胡静涛)
收藏
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浏览/下载:18/0
  |  
提交时间:2012/06/06
Chemical mechanical polishing
Clustering algorithms
Computer science
Controllers
Industrial applications
Mathematical models
Polishing
Predictive control systems
Semiconductor device manufacture
Stripping (removal)