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半导体研究所 [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
会议论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2006 [2]
学科主题
半导体器件 [2]
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浏览/检索结果:
共2条,第1-2条
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限定条件
发表日期:2006
学科主题:半导体器件
条数/页:
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Research on nitrogen implantation energy dependence of the properties of SIMON materials
期刊论文
OAI收割
nuclear instruments & methods in physics research section b-beam interactions with materials and atoms, 2006, 卷号: 242, 期号: 1-2, 页码: 585-587
Zhang EX
;
Sun JY
;
Chen J
;
Chen M
;
Zhang ZX
;
Li N
;
Zhang GQ
;
Wang X
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提交时间:2010/04/11
nitrogen
ion implantation
SIMOX
implantation energy
C-V measurement
CHARGE
OXYGEN
OXIDES
LAYERS
Research on nitrogen implantation energy dependence of the properties of SIMON materials
会议论文
OAI收割
14th international conference on ion beam modification of materials (ibmm 2004), pacific grove, ca, sep 05-10, 2004
Zhang EX
;
Sun JY
;
Chen J
;
Chen M
;
Zhang ZX
;
Li N
;
Zhang GQ
;
Wang X
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提交时间:2010/03/29
nitrogen