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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 学科主题：光学工程     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究 学位论文  OAI收割 作者:  郑亚忠   |  收藏  |  浏览/下载：264/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻机，工件台，位置测量，平面光栅尺  Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder   基于低平流层激光测风雷达的光学鉴频器精密温控与光谱标定技术研究 学位论文  OAI收割 作者:  赵存峰   |  收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2018/12/26 激光测风雷达  Wind Lidar  光学鉴频器  Optical discriminator  温度  Temperature  光谱标定  Spectral calibration   大尺寸全息光栅曝光系统及条纹锁定系统 学位论文  OAI收割 作者:  张栋   |  收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2018/12/26 全息光栅  holographic grating  干涉条纹  interference fringe  相位锁定  phase locking  光栅周期  grating period