机构

• 光电技术研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 会议论文 [1]

发表日期

• 2014 [1]

学科主题

• Alignment ... [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：Alignment - Control equipment - Lithography - Manufacture - Optical systems - Wavefronts     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Dynamic compensation for the lithographic object lens 会议论文  OAI收割 Proceedings of SPIE: Optical System Alignment, Tolerancing, and Verification VIII, 2014 作者:  Zhu, Hongwei;  Xing, Tingwen;  Chen, Zexiang 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2016/11/23