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上海微系统与信息技术... [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2004 [1]
学科主题
Applied; P... [1]
Coatings &... [1]
Condensed ... [1]
Materials ... [1]
Multidisci... [1]
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共1条,第1-1条
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学科主题:Condensed Matter
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Spectroscopic ellipsometry chraracterization of the interfacial roughness in simox wafers
期刊论文
OAI收割
THIN SOLID FILMS, 2004, 卷号: 459, 期号: 1-2, 页码: 63-66
Li,WJ
;
Song,ZR
;
Tao,K
;
Cheng,XH
;
Yang,WW
;
Yu,YH
;
Wang,X
;
Zou,SC
;
Shen,DS
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提交时间:2012/03/24
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