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机构
上海微系统与信息技术... [4]
采集方式
OAI收割 [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2012 [2]
2003 [1]
2002 [1]
学科主题
Materials ... [2]
Chemistry,... [1]
Engineerin... [1]
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共4条,第1-4条
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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第一作者单位
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Characterization of Hafnium-Zirconium-Oxide-Nitride films grown by ion beam assisted deposition
期刊论文
OAI收割
VACUUM, 2012, 卷号: 86, 期号: 8, 页码: 1078-1082
Jin, CG
;
Yu, T
;
Bo, Y
;
Zhao, Y
;
Zhang, HY
;
Dong, YJ
;
Wu, XM
;
Zhuge, LJ
;
Ge, SB
收藏
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提交时间:2013/04/17
High-k dielectrics
HfO2
ZrO2
Structure
Optical properties
Characterization of Hafnium-Zirconium-Oxide-Nitride films grown by ion beam assisted deposition
期刊论文
OAI收割
VACUUM, 2012, 卷号: 86, 期号: 8, 页码: 1078-1082
Jin, CG
;
Yu, T
;
Bo, Y
;
Zhao, Y
;
Zhang, HY
;
Dong, YJ
;
Wu, XM
;
Zhuge, LJ
;
Ge, SB
收藏
  |  
浏览/下载:56/0
  |  
提交时间:2013/05/10
Materials Science
Physics
Multidisciplinary
Applied
Interfacial stability between zirconium oxide thin films and silicon
期刊论文
OAI收割
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2003, 卷号: 66, 期号: 1-4, 页码: 427-432
Zhang, NL
;
Song, ZT
;
Xing, S
;
Shen, QW
;
Lin, CL
收藏
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提交时间:2012/03/24
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
THERMAL-STABILITY
ZRO2
SI(100)
GROWTH
SI
Interfacial and microstructural properties of zirconium oxide thin films prepared directly on silicon
期刊论文
OAI收割
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2002, 卷号: 202, 期号: 1-2, 页码: 126-130
Zhang, NL
;
Song, ZT
;
Wan, Q
;
Shen, QW
;
Lin, CL
收藏
  |  
浏览/下载:6/0
  |  
提交时间:2012/03/24
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
THERMAL-STABILITY
ZRO2
SI(100)