机构

• 兰州化学物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 1991 [1]

学科主题

• 材料科学与物理化学 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：材料科学与物理化学    发表日期：1991     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 工艺参数对PECVD TiN镀层性能的影响 期刊论文  OAI收割 固体润滑, 1991, 卷号: 11, 期号: 1, 页码: 51-62 张平余; 刘洪; 丛秋滋; 张绪寿; 王秀娥; 顾则鸣 收藏  |