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	电容传感器线性度标定平台期刊论文 OAI收割光学精密工程, 2016, 期号: 1, 页码: 143-151 作者: 张德福; 葛川; 李显凌; 倪明阳; 郭抗收藏 \| 浏览/下载：13/0 \| 提交时间：2017/09/17 电容传感器线性度标定标定平台柔度矩阵
	高精度位移传感器线性度标定方法研究期刊论文 OAI收割仪器仪表学报, 2015, 期号: 05, 页码: 982-988 作者: 张德福; 葛川; 李显凌; 倪明阳; 郭抗收藏 \| 浏览/下载：10/0 \| 提交时间：2016/07/06 传感器标定线性度柔度矩阵
	光刻物镜偏心调节机构抑制耦合误差设计期刊论文 OAI收割光子学报, 2015, 期号: 09, 页码: 35-39 作者: 张德福; 李显凌; 东立剑; 孙振收藏 \| 浏览/下载：12/0 \| 提交时间：2016/07/06 耦合误差光刻物镜偏心调节机构柔度矩阵法
	光刻投影物镜整体式XY微调整机构设计期刊论文 OAI收割电子测量与仪器学报, 2014, 期号: 7, 页码: 787-794 作者: 张德福; 孙振收藏 \| 浏览/下载：21/0 \| 提交时间：2015/04/17 光刻投影物镜位移缩小机构完全解耦波像差
	调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响期刊论文 OAI收割中国激光, 2014, 期号: 7, 页码: 291-298 作者: 李显凌; 张德福收藏 \| 浏览/下载：19/0 \| 提交时间：2015/04/17 光学器件深紫外光刻投影物镜像差补偿偏心调节机构调节力面形
	基于柔度矩阵法的整体式XY光学微调整机构研究期刊论文 OAI收割仪器仪表学报, 2014, 期号: 2, 页码: 269-275 作者: 赵磊; 张德福收藏 \| 浏览/下载：17/0 \| 提交时间：2015/04/17 光刻投影物镜微调整机构光机结构波像差
	静气动弹性计算方法研究期刊论文 OAI收割力学学报, 2009, 卷号: 41, 期号: 4, 页码: 469-479 作者: 陈大伟; 杨国伟收藏 \| 浏览/下载：960/179 \| 提交时间：2010/05/03 静气动弹性柔度矩阵法非结构网格结构网格模态法物面法向偏转方法
	飞行器流/固耦合静气动弹性分析及考虑结构变形气动性能优化学位论文 OAI收割博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2008 作者: 陈大伟收藏 \| 浏览/下载：984/53 \| 提交时间：2009/04/13 静气动弹性柔度矩阵法数据交换技术气动优化遗传算法