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光电技术研究所 [1]
西安光学精密机械研究... [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
学位论文 [2]
发表日期
2015 [1]
2009 [1]
学科主题
光学工程 [1]
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浏览/检索结果:
共2条,第1-2条
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投影光刻机中的线阵CCD高速检焦技术研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者:
陈昌龙
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浏览/下载:34/0
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提交时间:2015/07/30
光学投影光刻
检焦系统
线阵CCD
Camera Link
图像细分算法
多狭缝光电自准直仪狭缝类型与细分算法研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院西安光学精密机械研究所., 2009
作者:
刘爱敏
收藏
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浏览/下载:46/0
  |  
提交时间:2011/10/09
光电自准直仪
自准直原理
频率域分析法
多狭缝类型
CCD亚像素细分算法
MATLAB编程