机构

• 半导体研究所 [2]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 会议论文 [2]

发表日期

• 2002 [1]
• 2001 [1]

学科主题

• 半导体材料 [2]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 学科主题：半导体材料    内容类型：会议论文     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Heteroepitaxial growth and annealing of gamma-Al2O3 thin films on silicon 会议论文  OAI收割 symposium on silicon-based heterostructure materials held at the 8th iumrs international conference on electronic materials (iumrs-icem2002), xian, peoples r china, jun 10-14, 2002 Tan LW; Wang J; Wang QY; Yu YH; Lin LY 收藏  |   Structural evaluation of polycrystalline silicon thin films by hot-wire-assisted PECVD 会议论文  OAI收割 1st international conference on cat-cvd (hot wire cvd) process, kanazawa, japan, nov 14-17, 2000 Feng Y; Zhu M; Liu F; Liu J; Han H; Han Y 收藏  |