中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
机构
采集方式
内容类型
  • 专利 [2]
发表日期
学科主题
  • C23c16/455 [2]
筛选

浏览/检索结果: 共2条,第1-2条 帮助

限定条件        
条数/页: 排序方式:
原子层沉积制备W掺杂Al2O3高阻薄膜的方法 专利  OAI收割
专利号: CN201810489471.1, 申请日期: 2018-05-21, 公开日期: 2018-09-28
作者:  
朱香平;  邹永星;  赵卫;  郭海涛;  陆敏
  |  收藏  |  
原子层沉积制备Mo掺杂Al2O3高阻薄膜的方法 专利  OAI收割
专利号: CN201810489472.6, 申请日期: 2018-05-21, 公开日期: 2018-09-28
作者:  
朱香平;  邹永星;  赵卫;  郭海涛;  陆敏
  |  收藏  |