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深圳先进技术研究院 [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
会议论文 [1]
发表日期
2016 [1]
学科主题
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浏览/检索结果:
共1条,第1-1条
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限定条件
内容类型:会议论文
发表日期:2016
条数/页:
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NOVEL PERIODIC MESOPOROUS ORGANOSILICA THIN FILM WITH LOW DIELECTRIC CONSTANT AND HIGH MECHANICAL PROPERTY
会议论文
OAI收割
China Semiconductor Technology International Conference 2016, CSTIC 2016, Shanghai, China
作者:
Jiawei Zhang
;
Guoping Zhang
;
Rong Sun
;
S. W. Ricky Lee
;
C. P. Wong
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提交时间:2017/01/15