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上海光学精密机械研究... [4]
采集方式
OAI收割 [4]
内容类型
学位论文 [2]
期刊论文 [2]
发表日期
2016 [4]
学科主题
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共4条,第1-4条
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专题:上海光学精密机械研究所
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第一作者单位
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发表日期:2016
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金属介质光栅膜的抗化学清洗工艺及机理研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
张洪
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2016/11/28
金属介质光栅膜
退火
残余应力
界面扩散
化学清洗
Effect of Substrate's Crystalline Structure on Crystalline and Mechanical Properties of HfO_2 Thin Films
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2016, 卷号: 43, 期号: 6, 页码: 603001
作者:
Shao JD(邵建达)
;
Guo JL(郭佳露)
;
Liu XF(刘晓凤)
;
Zhao YA(赵元安)
;
Zhao JL(赵娇玲)
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2017/12/25
金属介质光栅膜的抗化学清洗工艺及机理研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
张洪
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提交时间:2016/11/28
金属介质光栅膜
退火
残余应力
界面扩散
化学清洗
Effects of annealing time on the structure, morphology, and stress of gold-chromium bilayer film
期刊论文
OAI收割
Chin. Phys. B, 2016, 卷号: 25, 期号: 10
作者:
Kong FY(孔钒宇)
;
Huang HP(黄昊鹏)
;
Cui Y(崔云)
;
Zhang H(张洪)
;
Jin YX(晋云霞)
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提交时间:2017/12/25