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  • 2006 [2]
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一种圆片级微机械器件和光电器件的低温气密性封装方法 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: CN1821052, 申请日期: 2006-08-23, 公开日期: 2006-08-23
刘玉菲; 吴亚明; 李四华; 刘文平
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Cu/Sn等温凝固键合技术在MEMS圆片级气密封装中的应用 学位论文  OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2006
李莉  
收藏  |  浏览/下载:18/0  |  提交时间:2012/03/06