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机构
上海微系统与信息技术... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
专利 [1]
学位论文 [1]
发表日期
2006 [2]
学科主题
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共2条,第1-2条
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发表日期:2006
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一种圆片级微机械器件和光电器件的低温气密性封装方法
专利
OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: CN1821052, 申请日期: 2006-08-23, 公开日期: 2006-08-23
刘玉菲
;
吴亚明
;
李四华
;
刘文平
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提交时间:2012/01/06
Cu/Sn等温凝固键合技术在MEMS圆片级气密封装中的应用
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2006
李莉
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/03/06
圆片级气密封装
等温凝固
Cu/Sn体系
微谐振器
可靠性