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  • 上海微系统与信息技术... [1]
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自对准制作微结构的方法及其制作的红外热电堆探测器 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: CN101402445, 申请日期: 2009-04-08, 公开日期: 2009-04-08
熊斌; 杨恒昭; 徐德辉; 王跃林
收藏  |  浏览/下载:24/0  |  提交时间:2012/01/06