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浏览/检索结果: 共47条，第1-10条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 0.13微米SOI工艺仿真及PD SOI器件特性研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2012 罗杰馨 收藏  |  浏览/下载：88/0  |  提交时间：2013/04/24 绝缘体上的硅  部分耗尽  浮体效应  记忆效应  隧道二极管   表面粗糙化来提高SiO_2中纳米硅的拉曼强度 期刊论文  OAI收割 中国科学:物理学 力学 天文学, 2011, 期号: 07 张有为; 毕大炜; 公祥南; 边惠; 万里; 唐东升 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/04/13 纳米硅  拉曼散射  声子限制   可实现玻璃浆料在MEMS圆片级气密封装的双腐蚀槽及方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN101712449A, 申请日期: 2010-05-26, 公开日期: 2010-05-26 陈骁; 罗乐 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2012/01/06 MEMS圆片级气密封装的单腐蚀槽结构及方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN101704497A, 申请日期: 2010-05-12, 公开日期: 2010-05-12 陈骁; 罗乐 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2012/01/06 表面活性剂动态修饰PDMS的研究进展 期刊论文  OAI收割 材料导报, 2010, 期号: S2 季伙燕; 丛辉; 王惠民; 金庆辉; 赵建龙 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2012/01/06 MEMS  硅基集成式定位平台  位移传感器  闭环控制  开环控制  神经元自适应PID控制   低温等离子体键合与新型高速衬底材料制备 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2010 马小波 收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2012/03/06 低温等离子体键合  绝缘体上的硅（SOI）  绝缘体上锗硅（SGOI）  绝 缘体上的锗（GeOI）  应变硅（strained Si）   扭转模态下超薄硅微机械悬臂梁的检测压阻和检测方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN101475138, 申请日期: 2009-07-08, 公开日期: 2009-07-08 李昕欣; 夏晓媛 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/01/06 PDMS表面修饰方法的研究进展 期刊论文  OAI收割 材料导报, 2009, 期号: 15 郑小林; 张瑞强; 杨军; 金庆辉; 许蓉; 赵建龙 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2012/01/06 动态电压与频率调节  动态可靠性管理  动态功耗管理  可信系统  软错误   基于热光效应的红外焦平面阵列器件 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2009 闫许 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/03/06 红外探测  　红外焦平面阵列  　光读出  　热光效应  　微机电系统　   微纳机电谐振结构与传感器研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2009 夏晓媛 收藏  |  浏览/下载：48/0  |  提交时间：2012/03/06 微纳机电系统  　扭转模态  　压阻效应  　谐振特性