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基于氧化锌薄膜体声波谐振器的传感器及系统研究 学位论文  OAI收割
博士, 北京: 中国科学院大学, 2017
张萌颖
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2017/06/07
静电激励-电容检测谐振式MEMS气压传感器研究 学位论文  OAI收割
博士, 北京: 中国科学院大学, 2014
焦海龙
收藏  |  浏览/下载:69/0  |  提交时间:2014/06/14