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	射频微纳谐振器件的稳定性研究学位论文 OAI收割北京: 中国科学院大学, 2018 作者: 王凤翔 \| 收藏 \| 浏览/下载：20/0 \| 提交时间：2018/05/24 Rf Mems谐振器频率稳定性真空封装寄生效应射频测试
	氮化铝MEMS面内伸缩模态谐振器（CMR）的研究学位论文 OAI收割硕士, 北京: 中国科学院大学, 2017 侯云虹收藏 \| 浏览/下载：13/0 \| 提交时间：2017/06/01
	硅基级联微环光子器件研究学位论文 OAI收割博士后, 北京: 中国科学院研究生院, 2017 关欢收藏 \| 浏览/下载：28/0 \| 提交时间：2017/02/06 硅基光子学光互连微环谐振器级联微环谐振器光子滤波器波分解复用器
	便携式MEMS微悬臂梁生物传感器设计及系统集成研究学位论文 OAI收割博士, 北京: 中国科学院大学, 2016 王晶晶收藏 \| 浏览/下载：47/0 \| 提交时间：2016/06/03 微悬臂梁生物传感器闭环谐振器肝癌早诊局域修饰便携式
	用于频率参考源的微机械谐振器与振荡器学位论文 OAI收割博士, 北京: 中国科学院大学, 2014 赵晖收藏 \| 浏览/下载：20/0 \| 提交时间：2014/06/03 参考频率源 MEMS 谐振器高阶谐振模态振荡器温度补偿