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浏览/检索结果: 共20条，第1-10条 帮助 限定条件 专题：电子学研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 基于氧化锌薄膜体声波谐振器的传感器及系统研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2017 张萌颖 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2017/06/07 薄膜体声波谐振器+增敏设计+温度控制+气体传感器+压力传感器   静电激励-电容检测谐振式MEMS气压传感器研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2014 焦海龙 收藏  |  浏览/下载：69/0  |  提交时间：2014/06/14 MEMS  气压传感器  静电激励  谐振器  气压仪表   一种基于微电子机械技术的电磁微扭摆谐振式传感器 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 申请日期: 2010-12-24, 公开日期: 2008, 2010-12-24 陈德勇; 王军波; 毋正伟  收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2010/12/24 一种基于微电子机械技术的电磁微扭摆谐振式传感器 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 申请日期: 2010-12-24, 公开日期: 2008, 2010-12-24 陈德勇; 王军波; 毋正伟  收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2010/12/24 新型全SiN_sub_x__sub_微结构谐振梁压力传感器 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 申请日期: 2010-12-24, 公开日期: 2003, 2010-12-24 于中尧; 崔大付  收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2010/12/24 一种零阶谐振器、窄带带通滤波器及优化设计方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 申请日期: 2010-12-24, 公开日期: 2009-07-01, 2010-12-24 李 超; 李 芳  收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2010/12/24 一种零阶谐振器、窄带带通滤波器及优化设计方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 申请日期: 2010-12-24, 公开日期: 2009-07-01, 2010-12-24 李 超; 李 芳  收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2010/12/24 一种基于MEMS技术的谐振式气体微流量传感器的设计与制造 学位论文  OAI收割 硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2009 郭然 收藏  |  浏览/下载：70/0  |  提交时间：2011/07/19 微机械电子系统  气体微流量传感器  电磁激励  静电激励  湿法腐蚀  有限元仿真   一种基于MEMS技术的谐振式气体微流量传感器的设计与制造 学位论文  OAI收割 硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2009 郭然 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2011/07/19 微机械电子系统  气体微流量传感器  电磁激励  静电激励  湿法腐蚀  有限元仿真   用于液相检测的微机械扭摆谐振器 期刊论文  OAI收割 仪表技术与传感器, 2009, 卷号: 增刊, 页码: 324-325，338 李翔; 陈德勇; 王军波 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2010/03/18