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• 光电技术研究所 [6]

采集方式

• OAI收割 [6]

内容类型

• 学位论文 [3]
• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2020 [1]
• 2019 [2]
• 2012 [2]
• 2009 [1]

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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 限定条件 专题：光电技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 压电倾斜镜迟滞非线性建模及逆补偿控制 期刊论文  OAI收割 光电工程, 2020, 卷号: 47, 期号: 4, 页码: 19-25 作者:  刘鑫;  李新阳;  杜睿   |  收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2021/05/11 自适应光学  压电倾斜镜  迟滞效应  神经网络  迟滞算子   基于神经网络的压电驱动器非线性迟滞效应的建模与校正 学位论文  OAI收割 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2019 作者:  刘鑫   |  收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2019/06/13 压电陶瓷驱动器迟滞非线性建模及逆补偿控制 期刊论文  OAI收割 光电工程, 2019, 卷号: 46, 期号: 8, 页码: 23-30 作者:  刘鑫[1,2,3];  李新阳[1,2];  杜睿[1,2]   |  收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2021/05/06 自适应光学  [761256]压电陶瓷驱动器  迟滞效应  神经网络  迟滞算子   用于大NA光刻投影物镜波像差检测系统的精密定位台的研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012 舒强 收藏  |  浏览/下载：44/0  |  提交时间：2014/12/11 波像差检测  压电陶瓷驱动器  柔性铰链  精密定位   压电陶瓷微动台的复合控制 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2012, 卷号: 20, 期号: 6, 页码: 1265-1271 作者:  王俐;  饶长辉;  饶学军 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2016/11/15 压电陶瓷  迟滞特性  改进的PI迟滞模型  前馈控制  动态定位精度   基于压电陶瓷驱动器的非球面变形抛光磨盘系统研究 学位论文  OAI收割 博士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2009 胡自强 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2013/11/19 非球面镜  压电陶瓷驱动器  非球面变形抛光磨盘  光学加工