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High-rate reactive ion etching of barium hexaferrite films using optimal CHF3/SF6 gas mixtures 外文期刊  OAI收割
2009
作者:  Yang, QH;  Vittoria, C;  Harris, VG;  Yang, A;  Xie, CQ
  |  收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2010/11/26