机构

• 半导体研究所 [2]
• 上海微系统与信息技术... [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 专利 [3]

发表日期

• 2007 [1]

学科主题

• 微电子学 [2]

筛选

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 内容类型：专利     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 一种悬臂梁结构、制作方法及应用 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN101066749, 申请日期: 2007-11-07, 公开日期: 2007-11-07 王跃林; 车录锋; 熊斌; 范克彬 收藏  |   频率可调的MEMS谐振器 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 公开日期: 2013-10-02 骆伟; 赵晖; 袁泉; 杨晋玲; 杨富华 收藏  |   采用窄脉冲激励MEMS谐振器的振荡器电路 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 公开日期: 2012-07-18 司朝伟; 韩国威; 宁瑾; 刘晓东 收藏  |