机构

• 光电技术研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2015 [1]

学科主题

• Electromec... [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：Electromechanical devices - Electrostatic actuators - Finite element method - Gold - MEMS - Mirrors - Residual stresses     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 An electrostatically actuated MEMS tilting mirror based on self-assembly 期刊论文  OAI收割 Qiangjiguang Yu Lizishu/High Power Laser and Particle Beams, 2015, 卷号: 27, 期号: 2, 页码: 024127 作者:  Wang, Qiang;  Wang, Weimin;  Qiu, Chuankai;  Yu, Junsheng 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2016/11/22