机构

• 半导体研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 会议论文 [1]

发表日期

• 1998 [1]

学科主题

• 半导体物理 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：半导体物理     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Applications of dielectric thin film by electron cyclotron resonance plasma chemical vapor deposition for semiconductor photoelectronic devices 会议论文  OAI收割 semiconductor lasers iii, beijing, peoples r china, sep 16-18, 1998 Mao DS; Tan MQ; Chen LH 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2010/10/29 ECR CVD  thin film  photoelectronic device