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  • 微电子学 [5]
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在衬底上制备多级台阶的方法 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-08-30
杨健; 司朝伟; 韩国威; 宁瑾; 赵永梅; 梁秀琴; 王晓东; 杨富华
收藏  |  浏览/下载:4/0  |  提交时间:2016/08/30
一种制备图形化多孔硅结构的方法 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-03-19
赵永梅; 杨香; 季安; 张明亮; 韩国威; 宁瑾; 王晓东; 杨富华
收藏  |  浏览/下载:5/0  |  提交时间:2014/11/05
一种利用金属材料扩散互溶实现硅-硅键合的方法 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-12
赵永梅; 何志; 季安; 王晓峰; 黄亚军; 潘岭峰; 樊中朝; 王晓东; 杨富华
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2016/09/12
材料扩散互溶实现碳化硅键合的方法 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-28
赵永梅; 何志; 季安; 刘胜北; 黄亚军; 杨香; 段瑞飞; 张明亮; 王晓东; 杨富华
收藏  |  浏览/下载:69/0  |  提交时间:2016/09/28
一种低量程高灵敏度MEMS压力传感器及其制作方法 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-03-19
赵永梅; 季安; 张明亮; 杨香; 宁瑾; 王晓东; 杨富华
收藏  |  浏览/下载:29/0  |  提交时间:2014/11/05