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半导体研究所 [5]
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OAI收割 [5]
内容类型
专利 [5]
发表日期
学科主题
微电子学 [5]
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共5条,第1-5条
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学科主题:微电子学
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在衬底上制备多级台阶的方法
专利
OAI收割
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-08-30
杨健
;
司朝伟
;
韩国威
;
宁瑾
;
赵永梅
;
梁秀琴
;
王晓东
;
杨富华
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提交时间:2016/08/30
一种制备图形化多孔硅结构的方法
专利
OAI收割
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-03-19
赵永梅
;
杨香
;
季安
;
张明亮
;
韩国威
;
宁瑾
;
王晓东
;
杨富华
收藏
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提交时间:2014/11/05
一种利用金属材料扩散互溶实现硅-硅键合的方法
专利
OAI收割
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-12
赵永梅
;
何志
;
季安
;
王晓峰
;
黄亚军
;
潘岭峰
;
樊中朝
;
王晓东
;
杨富华
收藏
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提交时间:2016/09/12
材料扩散互溶实现碳化硅键合的方法
专利
OAI收割
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-28
赵永梅
;
何志
;
季安
;
刘胜北
;
黄亚军
;
杨香
;
段瑞飞
;
张明亮
;
王晓东
;
杨富华
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浏览/下载:69/0
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提交时间:2016/09/28
一种低量程高灵敏度MEMS压力传感器及其制作方法
专利
OAI收割
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-03-19
赵永梅
;
季安
;
张明亮
;
杨香
;
宁瑾
;
王晓东
;
杨富华
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提交时间:2014/11/05