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机构
微电子研究所 [3]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
外文期刊 [3]
发表日期
2008 [1]
2007 [1]
2001 [1]
学科主题
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浏览/检索结果:
共3条,第1-3条
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限定条件
内容类型:外文期刊
条数/页:
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200 nm gate-length GaAs-based MHEMT devices by electron beam lithography
外文期刊
OAI收割
2008
作者:
Xu, JB
;
Zhang, HY
;
Wang, WX
;
Liu, L
;
Li, M
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收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2010/11/26
Lmds
Deposition of SiOx films with a capacitively-coupled plasma at atmospheric pressure
外文期刊
OAI收割
2007
作者:
Xu, XY
;
Li, L
;
Wang, SG
;
Zhao, LL
;
Ye, TC
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收藏
  |  
浏览/下载:7/0
  |  
提交时间:2010/11/26
Chemical-vapor-deposition
Silicon Dioxide Films
Discharge
Jet
The investigation of key technologies for sub-0.1-mu m CMOS device fabrication
外文期刊
OAI收割
2001
作者:
Xu, QX
;
Qian, H
;
Yin, HX
;
Jia, L
;
Ji, HH
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收藏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2010/11/26
p+-polysilicon Gate
Ge Preamorphization
Thin-films
Oxides
Transformation
Suppression
Resistance
Extension
Salicide
Mosfet