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• 上海微系统与信息技术... [5]

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内容类型

• 会议论文 [3]
• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2011 [2]
• 2010 [1]
• 2009 [1]
• 2001 [1]

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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Thermopile IR detector with filter cointegrated by wafer bonding technique 会议论文  OAI收割 IEEE MEMS 2011:the 24th IEEE Conference on Micro Electro mechanicsal Systems, 2011 Xu, D. H.; Xiong, B.; Jing, E. R.; Wu, G. Q.; Wang, Y. L. 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2012/05/04 SELF-ASSEMBLY AND TRANSFERRING OF PHOTORESIST AS PLANAR LAYER FOR FABRICATION OF TSV AND FREE STANDING BEAMS 会议论文  OAI收割 Transducers’11:The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2011 Z. Y. Wu, H. Yang, C. G. Dou, Y. H. Wu, X. X. Li and Y. L. Wang 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2012/05/04 Fast speed nano-sized macropore formation on highly-doped n-type silicon via strong oxidizers 期刊论文  OAI收割 ELECTROCHEMISTRY COMMUNICATIONS, 2010, 卷号: 12, 期号: 2 Pages, 页码: 603 D. H. Ge, J. W. Jiao, S. Zhang, Y. L. Wang 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/05/12 On-chip soft-ferrite-integrated inductors for RF IC 会议论文  OAI收割 Transducers’09:The 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2009 C. Yang, T. -L. Ren, L. -T. Liu, J. Zhan, X. Wang, A. Wang, Z. Wu, and X. Li 收藏  |  浏览/下载：420/0  |  提交时间：2012/05/04 Effect of implantation energy on the microstructure evolution of low dose separation of implanted oxygen wafers 期刊论文  OAI收割 Journal of Vacuum Science & Technology B / Volume 19 / Issue 2 / ARTICLES, 2001, 卷号: 19, 期号: 2, 页码: 337- M. Chen, Z L Pei, C. Sun, L. S. Wen, X Wang 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2012/05/31