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  • 半导体研究所 [1]
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  • 2016 [1]
学科主题
  • 半导体材料 [1]
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Influences of annealing on structural and compositional properties of Al2O3 thin films grown on 4H–SiC by atomic layer deposition 期刊论文  OAI收割
Chinese Physics B, 2016, 卷号: 25, 期号: 12, 页码: 128104
Li-Xin Tian; Feng Zhang; Zhan-Wei Shen; Guo-Guo Yan; Xing-Fang Liu; Wan-Shun Zhao; Lei Wang; Guo-Sheng Sun; Yi-Ping Zeng
收藏  |  浏览/下载:24/0  |  提交时间:2017/03/10