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机构
半导体研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2010 [1]
学科主题
半导体材料 [1]
筛选
浏览/检索结果:
共1条,第1-1条
帮助
限定条件
学科主题:半导体材料
发表日期:2010
条数/页:
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Multi-wafer 3C-SiC heteroepitaxial growth on Si(100) substrates
期刊论文
OAI收割
chinese physics b, 2010, 卷号: 19, 期号: 8, 页码: art. no. 088101
Sun GS (Sun Guo-Sheng)
;
Liu XF (Liu Xing-Fang)
;
Wang L (Wang Lei)
;
Zhao WS (Zhao Wan-Shun)
;
Yang T (Yang Ting)
;
Wu HL (Wu Hai-Lei)
;
Yan GG (Yan Guo-Guo)
;
Zhao YM (Zhao Yong-Mei)
;
Ning J (Ning Jin)
;
Zeng YP (Zeng Yi-Ping)
;
Li JM (Li Jin-Min)
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提交时间:2010/09/07
3C-SiC
heteroepitaxial
multi-wafer
uniformity