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机构
上海微系统与信息技术... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
成果 [2]
发表日期
2008 [2]
学科主题
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浏览/检索结果:
共2条,第1-2条
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限定条件
内容类型:成果
发表日期:2008
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悬臂梁—质量块结构的吸合时间式数字加速度传感器
成果
OAI收割
鉴定: 无, 2008
杨恒
;
庞洁
;
李昕欣
;
王跃林
收藏
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浏览/下载:74/0
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提交时间:2013/04/12
微机械加速度计器件的圆片级封装工艺
成果
OAI收割
鉴定: 无, 2008
张鲲
;
王跃林
;
李昕欣
;
杨恒
收藏
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浏览/下载:28/0
  |  
提交时间:2013/04/12