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上海微系统与信息技术... [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2001 [1]
学科主题
Applied; P... [1]
Chemistry [1]
Coatings &... [1]
Condensed ... [1]
Physical; ... [1]
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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第一作者单位
通讯作者单位
学科主题:Chemistry
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Non-Rutherford backscattering studies of SiC/SIMOX structures
期刊论文
OAI收割
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2001, 卷号: 184, 期号: 1-4, 页码: 178-182
Chen,KW
;
Yu,YH
;
Lei,YM
;
Cheng,LL
;
Sundaraval,B
;
Luo,EZ
;
Wong,SP
;
Wilson,IH
;
Chen,LZ
;
Ren,CX
;
Zou,SC
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提交时间:2012/03/24
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