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  • 微电子研究所 [11]
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Development of MEMS IR source by compound release process with nano-scale silicon forest radiation layer 会议论文  OAI收割
作者:  Sun XL(孙西龙);  Chen DP(陈大鹏);  Wang WB(王玮冰);  Mao HY(毛海央);  Yang CY(杨成樾)
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In-Situ Nitrogen Doping of the TiO2 Photocatalyst Deposited byPEALD for Visible Light Activity 期刊论文  OAI收割
Plasma Science and Technology, 2014
作者:  Li CB(李超波);  Chen B(陈波);  Wan J(万军);  Rao ZP(饶志鹏);  Liu J(刘键)
  |  收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/04/22
一种碳化硅薄膜的制备方法 专利  OAI收割
申请日期: 2011-09-26, 公开日期: 2012-11-20
作者:  刘键;  饶志鹏;  万军;  夏洋;  李超波
  |  收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2012/11/20
一种氮化铝薄膜的制备方法 专利  OAI收割
申请日期: 2011-09-26, 公开日期: 2012-11-20
作者:  李勇滔;  饶志鹏;  万军;  夏洋;  李超波
  |  收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/11/20
一种异质结黑硅太阳能电池的制备方法 专利  OAI收割
申请日期: 2011-09-23, 公开日期: 2012-11-20
作者:  石莎莉;  夏洋;  饶志鹏;  万军;  李超波
  |  收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2012/11/20
一种单晶立方型氮化碳薄膜的制备方法 专利  OAI收割
申请日期: 2011-09-23, 公开日期: 2012-11-20
作者:  李勇滔;  夏洋;  饶志鹏;  万军;  刘键
  |  收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/11/20
一种掺氮碳纳米管的制备方法 专利  OAI收割
申请日期: 2011-09-23, 公开日期: 2012-11-20
作者:  陈波;  夏洋;  饶志鹏;  万军;  刘键
  |  收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2012/11/20
一种金刚石的制备方法 专利  OAI收割
申请日期: 2011-09-23, 公开日期: 2012-11-20
作者:  刘键;  李超波,陈波,黄成强,石莎莉,李勇滔;  夏洋;  饶志鹏;  万军
  |  收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2012/11/20
一种石墨的制备方法 专利  OAI收割
申请日期: 2011-09-23, 公开日期: 2012-11-20
作者:  李超波;  陈波;  黄成强;  李勇滔;  石莎莉
  |  收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2012/11/20
一种碳纳米管的制备方法 专利  OAI收割
申请日期: 2011-09-23, 公开日期: 2012-11-20
作者:  石莎莉;  刘键;  饶志鹏;  万军;  夏洋
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